T/QGCML 3970-2024 半导体车间金属粉尘智能检测分析系统
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- 标准类型：综合团体标准
- 标准语言：中文版
- 文件类型：PDF文档
- 更新时间：2024-06-24
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资料介绍
本文件规定了半导体车间金属粉尘智能检测分析系统的术语和定义、基本要求、运行环境及功能、模块功能、运行测试。
本文件适用于半导体车间金属粉尘智能检测分析系统的设计及应用。上一篇：T/QGCML 3971-2024 内插接单管塔加固装置
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本文件适用于半导体车间金属粉尘智能检测分析系统的设计及应用。