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T/QGCML 3970-2024 半导体车间金属粉尘智能检测分析系统
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- 类 别：综合团体标准
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资料介绍
本文件规定了半导体车间金属粉尘智能检测分析系统的术语和定义、基本要求、运行环境及功能、模块功能、运行测试。
本文件适用于半导体车间金属粉尘智能检测分析系统的设计及应用。
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