T/EBA 40004-2024 （10-1~10-7）Pa真空计现场校准规范
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资料介绍
中国团体标准
T/EBA.40004-2024
（10-1~10-7）Pa真空计现场校准规范
Calibration Specification for On-site Calibration of (10-1~10-7)Pa Vacuum Gauge
2024－09－10发布2024－09－18实施
北京电子仪器行业协会 发布
前 言
本标准由北京东方计量测试研究所提出。
本标准由北京电子仪器行业协会归口。
本标准主要起草单位：北京东方计量测试研究所。
本标准参与起草单位：中国航发南方工业有限公司、西安飞机工业（集团）有限责任公司、中国航发北京航空材料研究院、成都兴睿宝电子科技有限公司、亿维智能航天科技（烟台）有限公司。
本标准主要起草人：柏向春、田虎林、董云宁、王汐月、闫睿、杨振、张湧颀、姚雪琦、卢耀文、郭宇扬、余荣、陈春、蓝娟、高威、陈静、贺良武、聂建力、朱振良。
T/EBA.40004－2024
1
（10-1~10-7）Pa真空计现场校准规范
1 范围
1.1 主题内容
本规范规定了（10-1~10-7）Pa真空计现场校准的原理、校准条件、校准项目、校准过程、校准结果的处理。
1.2 适用范围
本规范适用于采用真空度现场校准装置对测量范围为（10-1~10-7）Pa内的真空计实现工作现场的校准和使用中检查。
2 规范性引用文件
下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所有的修改单（不包含勘误的内容）或修订版均不适用于本标准，然而，鼓励根据本标准达成协议的各方研究是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本标准。
GB/T 3163 真空技术 术语
JJF 1062 电离真空计校准规范
3 术语定义
3.1 动态流量法 Dynamic flow method
采用动态流量的方法得到的标准压力与被校准真空计所测压力相比较的校准方法。
3.2 动态比对法 Dynamic expansion method
采用动态的方法得到的标准压力与被校准真空计所测压力相比较的校准方法。
4 概述
4.1 简介
针对高精度电子器件的生产现场所使用的真空设备不能长时间停产，为了现场真空度参数的校准溯源问题，要求现场开展校准、大幅缩减计量检测时间的工作，采用比实验室设备小巧、便携的真空度现场校准装置在生产现场对真空计实现校准工作。真空计现场校准的测量范围为（10-1~10-7）Pa内的真空计。
4.2 构造
真空计现场校准使用的真空度现场校准装置具有小巧、便携、容易移动的特性，能够带入生产现场开展校准工作。真空度现场校准装置主要由校准室、标准真空计、抽气系统、控制系统等组成，RP1为机械泵；TMP1、TMP2为分子泵；VC1为校准室；VC2为稳压室；C1，C2，C3是小孔；V1为插板阀：V4为微调阀；V11、V12为电磁阀；其余阀门为球阀；G1为电离规；G2为全量程真空计；G3、G4、G5是满量程为133Pa、1330 Pa、133000Pa的电容薄膜真空计，装置原理图如图1所示。
T/EBA.40004－2024
2
图1 真空计现场校准装置原理图
4.3 原理
4.3.1 动态流量法
动态流量法是在分子流条件下采用进气小孔C1对较高压力的气体连续膨胀到校准室中，通过校准室下方的限流抽气小孔C2对校准室连续抽气，在校准室中形成动态平衡的稳定压力，以此压力作为参考标准校准真空计。标准压力的计算公式如下：
?2=?1?1?2(1−?) （1）
式中：?1—进气小孔C1入口的压力，单位：Pa；
?2—校准室中的压力，单位：Pa；
?1—进气小孔C1的标准流导值，单位：m3/s；
?2—限流抽气小孔C2的标准流导值，单位：m3/s；
?—限流抽气小孔C2处的返流比。
4.3.2 动态比对法
通过进气阀门向校准室中引入一定量的气体，同时通过校准室下方的限流抽气小孔对校准室连续抽气，在校准室内形成动态稳定的气体压力，通过被校准真空计和参考标准同时测量校准室压力，进行比较从而实现校准。
4.4 技术指标
本标准要求的计量技术指标为压力示值误差，真空计压力示值允许误差限见表1。
表1 压力示值允许误差限
真空计种类
标准项目
超高真空电离真空计
热阴极电离真空计
冷阴极电离真空计
压力示值允许误差限
±70%
±50%
+100%；-60%
4.5 通用技术要求
4.5.1 外观
T/EBA.40004－2024
3
a)
真空计应有铭牌。铭牌一般应注明名称、型号/规格、制造单位、出厂编号、最大工作压力、工作温度范围、准确度等级或引用误差、制造计量器具许可证标志和编号、制造日期等。
b)
真空计显示的数字应醒目、整齐，表示功能的文字符号和标识应完整、清晰、 端正。
4.5.2 密封性
真空计规管或表体不应泄漏。
5 校准条件
5.1 环境条件
a)
环境温度：（10~40）℃，温度波动不大于3℃/h；
b)
相对湿度：≤80%；
c)
周围无影响正常校准的电磁干扰，无剧烈振动，无腐蚀性气体。
5.2 校准用气体
纯度不低于99.9%的氮气。
5.2 校准用设备
校准设备应经过计量技术机构校准合格，并在有效期内。
表2校准用标准设备
序号
名称
测量精度
测量范围
1
电容薄膜真空计
≤0.4%
（133~0.01）Pa
2
电容薄膜真空计
≤0.4%
（1330~1）Pa
3
电容薄膜真空计
≤0.4%
（133000~1000）Pa
4
电离真空计
10%
（1～10-9）Pa
6 校准项目及校准过程
6.1 校准项目
本标准要求的校准项目为压力示值误差，如图1所示，压力校准在不同的范围采用不同的方法实现校准，在（10-1～10-4）Pa范围内采用电离真空计（G2）作为参考标准；在（10-4～10-7）Pa范围内采用电容薄膜真空计测量流导入口压力。校准过程中每个压力量级选取10%、60%、90%附近的三个压力点作为校准点，校准过程选择校准压力点按照由低到高的顺序进行。
6.2 校准过程
6.2.1 外观和附件
被校设备外观完好，无影响正常工作的机械损伤，各种接口符合规定要求，应标有名称、型号、制造厂及出厂序号等附件。
6.2.2 工作正常性
用目视方法检查，被校真空计接入标准装置，在真空状态下，通电后控制单元显示是否正常。
6.2.3 （10-1～10-4）Pa动态比对法校准步骤
a)
打开机械泵抽气，打开旁通阀门V10抽气，在G2读数小于100Pa后关闭阀门V10，打开阀门V1、V11，启动分子泵对校准室抽气。
b)
关闭阀门V6在G2读数小于10-2 Pa后打开真空规G1，在校准室压力小于1×10-4 Pa后且G2正常工作1小时以上记录G2的读数作为装置的本底压力。
c)
调节阀门V4向校准室引入一定压力的氮气，使G2的压力稳定3×10-4 Pa压力点附近，待压力稳定后分别记录被校规与标准规的示值。
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d)
依照步骤c继续调节阀门V4的开度，使G2的压力依次稳定在1×10-4 Pa、6×10-4 Pa、9×10-4 Pa、1×10-3 Pa、6×10-3 Pa、9×10-3 Pa、1×10-2 Pa、6×10-2 Pa、9×10-2 Pa压力点附近，记录被校规与标准规的示值，得到示值误差。
6.2.4 （10-4～10-7）Pa动态流量法校准步骤
a)
打开机械泵抽气，打开旁通阀门V10抽气，在G2读数小于100Pa后关闭阀门V10，打开阀门V1、V11，启动分子泵对校准室抽气。
b)
打开G3、G4、G5及被校准真空计，当G3、G4、G5稳定3小时以上且装置本底压力小于5×10-3 Pa（G2示值）后对G3、G4、G5进行调零。
c)
关闭阀门V6，打开阀门V7。向管路中充入一定压力的氮气（由G3、G4、G5测量），充入压力的多少，根据需要调节的压力点通过公式2计算得到。
d)
通过阀门V5、选取C2或C3向校准室VC1中进气。
e)
调节VC1中的压力，标准压力依次稳定在1×10-7 Pa、6×10-7 Pa、9×10-7 Pa、1×10-6 Pa、6×10-6 Pa、9×10-6 Pa、1×10-5 Pa、6×10-5 Pa、9×10-5 Pa压力点附近记录被校规示值与标准压力值，得到示值误差。
7 校准结果的处理
a) 校准数据按四舍五入及偶数法则进行修约，保留的有效位数应使末位数与测量结果不确定度的量值相对应。
b) 校准结束后应出具校准证书，校准证书中，应该包括校准条件下，校准所得各种数据，并给出相应校准结果的不确定度。
c) 校准证书应包括委托方要求的、说明校准结果所必需的和所用方法要求的全部信息。
8 校准周期
真空计校准周期一般不超过12个月。
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附 录 A 测量不确定度评定方法
A.1 在（10-1～10-4）Pa范围内的不确定度评定
A.2.1 测量模型
采用动态比对法，在（10-1～10-4）Pa校准范围内对真空计校准的示值误差为例进行不确定度评定。其误差校准的测量模型可用下面公式计算，相对合成标准不确定度按公式（A.1)计算
??,?=√?12+?22+?32 （A.1）
相对扩展不确定度按式（A.2）计算：
??=???,? （A.2）
A.2.2 不确定度来源
a)
参考标准引入；
b)
本底压强；
c)
规管之间相互影响；
d)
准测量结果的重复性；
e)
参考标准与被校真空计温度变化（±1℃）；
A.2.3 不确定度评定
引入的不确定分量包括：
a)
压力测量及膨胀的重复性，引入的不确定度为?1；
b)
根据真空标准的规定，要求本底真空高于最小被校压力的2个量级，这样本底造成的影响是1%。引入的不确定度分量按B类评定为?2；
c)
本装置能同时校准3支热阴极电离规管，由于规管的吸放气效应以及电场之间的相互干扰，由规管相互之间影响量，引入的不确定度分量?3；
d)
测量标准重复性引入的不确定度分量约为?4；
e)
在校准过程中温度变化为±1℃，按B类评定?5。
A.2.4 不确定度分量一览表
表3 （10-1～10-4）Pa测量不确定度汇总表
序号
不确定度来源
评定方法
分布
K值
1
参考标准引入的不确定度
A类
正态
/
2
本底压强引入的不确定度
B类
均匀
√3
3
规管之间互相影响引入的不确定度
B类
均匀
√3
4
标准测量结果的重复性引入的不确定度
A类
/
/
5
参考标准与被校真空计温度变化（±1℃）
B类
均匀
√3
合成标准不确定度
??,?=√?12+?22+?32+?42+?52
A.2.5 扩展不确定度Ur
合成标准不确定度按公式（A.1)计算，取包含因子k=2，则扩展不确定度为：??=2??,?。
A.2 在（10-4～10-7）Pa范围内的不确定度评定
A.2.1 测量模型
采用动态流量法，在（10-4～10-7）Pa校准范围内对真空计校准的示值误差为例进行不确定度评定。其误差校准的测量模型可用下面公式计算，相对合成标准不确定度按公式（A.3）计算
??,?=√?12+?22+?32 （A.3）
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相对扩展不确定度按式（A.4）计算：
??=???,? （A.4）
A.2.2 不确定度来源
a)
参考标准引入；
b)
参考标准的稳定度；
c)
返流比；
d)
进气小孔流导；
e)
抽气小孔流导；
f)
参考标准与被校真空计温度变化（±1℃）；
g)
本底压力；
A.2.3 不确定度评定
引入的不确定分量包括：
a)
校准证书给出的引入的不确定度分量?1；
b)
依据电容薄膜真空计相关研究，参考标准的稳定度引入的不确定度为?2；
c)
根据装置试验报告结果，返流比引入不确定度为?3；
d)
进气小孔的流导测量引入不确定度?4；
e)
抽气小孔流导测量引入不确定度?5；
f)
在校准过程中温度变化为±1℃，按B类评定，引入不确定度?6。
g)
装置的极限真空度小于1×10-7 Pa，本底压力按B类不确定度评定为?7。
A.2.4 不确定度分量一览表
表4（10-4～10-7）Pa测量不确定度汇总表
序号
不确定度来源
评定方法
分布
K值
1
参考标准引入的不确定度
B类
正态
2
2
参考标准稳定度
B类
/
/
3
返流比
A、B
/
/
4
进气小孔流导
A、B
/
/
5
抽气小孔流导
A、B
/
/
6
本底压力
B类
均匀
√3
7
参考标准与被校真空计温度变化（±1℃）
B类
均匀
√3
合成标准不确定度
??,?=√?12+?22+?32+?42+?52+?62+?72
A.2.5 扩展不确定度Ur
合成标准不确定度按公式（A.3)计算，取包含因子k=2，则扩展不确定度为：??=2??,?。
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附 录 B (资料性附录) 校准证书模板
校 准 证 书
Certificate of Calibration
证书编号：
Certificate No.
客户Client
地址Address
被校设备CalibratedEUT
制造商Manufacturer
型号/规格Type
编号S/N
接收日期：
年 月 日
校准日期：
年 月 日
Acceptance Date：
Year Month Day
Calibration Date:
Year Month Day
校准人：
Operator:
审核人：
Checked by:
批准人：
Approved by:
发布日期：
年 月 日
Issued Date：
Year Month Day
校准专用章
(Stamp)
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校准使用的主要测量标准
Measurement standards Used
标准名称
STD Names
编号
S/N
证书编号/溯源机构
Cert.No./Trace to
有效期至
Due Date
/
/
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/
校准所依据的技术文件（编号、名称）或校准方法说明
Reference Document（code、name）or Description of the Used Calibration Method
校准地点：
Calibration location：
校准时的环境条件： 温度： ℃ 相对湿度：
Environment Condition： Temperature： Relative Humidity：
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校准结果
Calibration Results
参考标准值
Pa
示值
Pa
示值误差
Pa
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Calibration Specification for On-site Calibration of (10-1~10-7)Pa Vacuum Gauge
2024－09－10发布2024－09－18实施
北京电子仪器行业协会 发布
前 言
本标准由北京东方计量测试研究所提出。
本标准由北京电子仪器行业协会归口。
本标准主要起草单位：北京东方计量测试研究所。
本标准参与起草单位：中国航发南方工业有限公司、西安飞机工业（集团）有限责任公司、中国航发北京航空材料研究院、成都兴睿宝电子科技有限公司、亿维智能航天科技（烟台）有限公司。
本标准主要起草人：柏向春、田虎林、董云宁、王汐月、闫睿、杨振、张湧颀、姚雪琦、卢耀文、郭宇扬、余荣、陈春、蓝娟、高威、陈静、贺良武、聂建力、朱振良。
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（10-1~10-7）Pa真空计现场校准规范
1 范围
1.1 主题内容
本规范规定了（10-1~10-7）Pa真空计现场校准的原理、校准条件、校准项目、校准过程、校准结果的处理。
1.2 适用范围
本规范适用于采用真空度现场校准装置对测量范围为（10-1~10-7）Pa内的真空计实现工作现场的校准和使用中检查。
2 规范性引用文件
下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所有的修改单（不包含勘误的内容）或修订版均不适用于本标准，然而，鼓励根据本标准达成协议的各方研究是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本标准。
GB/T 3163 真空技术 术语
JJF 1062 电离真空计校准规范
3 术语定义
3.1 动态流量法 Dynamic flow method
采用动态流量的方法得到的标准压力与被校准真空计所测压力相比较的校准方法。
3.2 动态比对法 Dynamic expansion method
采用动态的方法得到的标准压力与被校准真空计所测压力相比较的校准方法。
4 概述
4.1 简介
针对高精度电子器件的生产现场所使用的真空设备不能长时间停产，为了现场真空度参数的校准溯源问题，要求现场开展校准、大幅缩减计量检测时间的工作，采用比实验室设备小巧、便携的真空度现场校准装置在生产现场对真空计实现校准工作。真空计现场校准的测量范围为（10-1~10-7）Pa内的真空计。
4.2 构造
真空计现场校准使用的真空度现场校准装置具有小巧、便携、容易移动的特性，能够带入生产现场开展校准工作。真空度现场校准装置主要由校准室、标准真空计、抽气系统、控制系统等组成，RP1为机械泵；TMP1、TMP2为分子泵；VC1为校准室；VC2为稳压室；C1，C2，C3是小孔；V1为插板阀：V4为微调阀；V11、V12为电磁阀；其余阀门为球阀；G1为电离规；G2为全量程真空计；G3、G4、G5是满量程为133Pa、1330 Pa、133000Pa的电容薄膜真空计，装置原理图如图1所示。
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图1 真空计现场校准装置原理图
4.3 原理
4.3.1 动态流量法
动态流量法是在分子流条件下采用进气小孔C1对较高压力的气体连续膨胀到校准室中，通过校准室下方的限流抽气小孔C2对校准室连续抽气，在校准室中形成动态平衡的稳定压力，以此压力作为参考标准校准真空计。标准压力的计算公式如下：
?2=?1?1?2(1−?) （1）
式中：?1—进气小孔C1入口的压力，单位：Pa；
?2—校准室中的压力，单位：Pa；
?1—进气小孔C1的标准流导值，单位：m3/s；
?2—限流抽气小孔C2的标准流导值，单位：m3/s；
?—限流抽气小孔C2处的返流比。
4.3.2 动态比对法
通过进气阀门向校准室中引入一定量的气体，同时通过校准室下方的限流抽气小孔对校准室连续抽气，在校准室内形成动态稳定的气体压力，通过被校准真空计和参考标准同时测量校准室压力，进行比较从而实现校准。
4.4 技术指标
本标准要求的计量技术指标为压力示值误差，真空计压力示值允许误差限见表1。
表1 压力示值允许误差限
真空计种类
标准项目
超高真空电离真空计
热阴极电离真空计
冷阴极电离真空计
压力示值允许误差限
±70%
±50%
+100%；-60%
4.5 通用技术要求
4.5.1 外观
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3
a)
真空计应有铭牌。铭牌一般应注明名称、型号/规格、制造单位、出厂编号、最大工作压力、工作温度范围、准确度等级或引用误差、制造计量器具许可证标志和编号、制造日期等。
b)
真空计显示的数字应醒目、整齐，表示功能的文字符号和标识应完整、清晰、 端正。
4.5.2 密封性
真空计规管或表体不应泄漏。
5 校准条件
5.1 环境条件
a)
环境温度：（10~40）℃，温度波动不大于3℃/h；
b)
相对湿度：≤80%；
c)
周围无影响正常校准的电磁干扰，无剧烈振动，无腐蚀性气体。
5.2 校准用气体
纯度不低于99.9%的氮气。
5.2 校准用设备
校准设备应经过计量技术机构校准合格，并在有效期内。
表2校准用标准设备
序号
名称
测量精度
测量范围
1
电容薄膜真空计
≤0.4%
（133~0.01）Pa
2
电容薄膜真空计
≤0.4%
（1330~1）Pa
3
电容薄膜真空计
≤0.4%
（133000~1000）Pa
4
电离真空计
10%
（1～10-9）Pa
6 校准项目及校准过程
6.1 校准项目
本标准要求的校准项目为压力示值误差，如图1所示，压力校准在不同的范围采用不同的方法实现校准，在（10-1～10-4）Pa范围内采用电离真空计（G2）作为参考标准；在（10-4～10-7）Pa范围内采用电容薄膜真空计测量流导入口压力。校准过程中每个压力量级选取10%、60%、90%附近的三个压力点作为校准点，校准过程选择校准压力点按照由低到高的顺序进行。
6.2 校准过程
6.2.1 外观和附件
被校设备外观完好，无影响正常工作的机械损伤，各种接口符合规定要求，应标有名称、型号、制造厂及出厂序号等附件。
6.2.2 工作正常性
用目视方法检查，被校真空计接入标准装置，在真空状态下，通电后控制单元显示是否正常。
6.2.3 （10-1～10-4）Pa动态比对法校准步骤
a)
打开机械泵抽气，打开旁通阀门V10抽气，在G2读数小于100Pa后关闭阀门V10，打开阀门V1、V11，启动分子泵对校准室抽气。
b)
关闭阀门V6在G2读数小于10-2 Pa后打开真空规G1，在校准室压力小于1×10-4 Pa后且G2正常工作1小时以上记录G2的读数作为装置的本底压力。
c)
调节阀门V4向校准室引入一定压力的氮气，使G2的压力稳定3×10-4 Pa压力点附近，待压力稳定后分别记录被校规与标准规的示值。
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d)
依照步骤c继续调节阀门V4的开度，使G2的压力依次稳定在1×10-4 Pa、6×10-4 Pa、9×10-4 Pa、1×10-3 Pa、6×10-3 Pa、9×10-3 Pa、1×10-2 Pa、6×10-2 Pa、9×10-2 Pa压力点附近，记录被校规与标准规的示值，得到示值误差。
6.2.4 （10-4～10-7）Pa动态流量法校准步骤
a)
打开机械泵抽气，打开旁通阀门V10抽气，在G2读数小于100Pa后关闭阀门V10，打开阀门V1、V11，启动分子泵对校准室抽气。
b)
打开G3、G4、G5及被校准真空计，当G3、G4、G5稳定3小时以上且装置本底压力小于5×10-3 Pa（G2示值）后对G3、G4、G5进行调零。
c)
关闭阀门V6，打开阀门V7。向管路中充入一定压力的氮气（由G3、G4、G5测量），充入压力的多少，根据需要调节的压力点通过公式2计算得到。
d)
通过阀门V5、选取C2或C3向校准室VC1中进气。
e)
调节VC1中的压力，标准压力依次稳定在1×10-7 Pa、6×10-7 Pa、9×10-7 Pa、1×10-6 Pa、6×10-6 Pa、9×10-6 Pa、1×10-5 Pa、6×10-5 Pa、9×10-5 Pa压力点附近记录被校规示值与标准压力值，得到示值误差。
7 校准结果的处理
a) 校准数据按四舍五入及偶数法则进行修约，保留的有效位数应使末位数与测量结果不确定度的量值相对应。
b) 校准结束后应出具校准证书，校准证书中，应该包括校准条件下，校准所得各种数据，并给出相应校准结果的不确定度。
c) 校准证书应包括委托方要求的、说明校准结果所必需的和所用方法要求的全部信息。
8 校准周期
真空计校准周期一般不超过12个月。
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附 录 A 测量不确定度评定方法
A.1 在（10-1～10-4）Pa范围内的不确定度评定
A.2.1 测量模型
采用动态比对法，在（10-1～10-4）Pa校准范围内对真空计校准的示值误差为例进行不确定度评定。其误差校准的测量模型可用下面公式计算，相对合成标准不确定度按公式（A.1)计算
??,?=√?12+?22+?32 （A.1）
相对扩展不确定度按式（A.2）计算：
??=???,? （A.2）
A.2.2 不确定度来源
a)
参考标准引入；
b)
本底压强；
c)
规管之间相互影响；
d)
准测量结果的重复性；
e)
参考标准与被校真空计温度变化（±1℃）；
A.2.3 不确定度评定
引入的不确定分量包括：
a)
压力测量及膨胀的重复性，引入的不确定度为?1；
b)
根据真空标准的规定，要求本底真空高于最小被校压力的2个量级，这样本底造成的影响是1%。引入的不确定度分量按B类评定为?2；
c)
本装置能同时校准3支热阴极电离规管，由于规管的吸放气效应以及电场之间的相互干扰，由规管相互之间影响量，引入的不确定度分量?3；
d)
测量标准重复性引入的不确定度分量约为?4；
e)
在校准过程中温度变化为±1℃，按B类评定?5。
A.2.4 不确定度分量一览表
表3 （10-1～10-4）Pa测量不确定度汇总表
序号
不确定度来源
评定方法
分布
K值
1
参考标准引入的不确定度
A类
正态
/
2
本底压强引入的不确定度
B类
均匀
√3
3
规管之间互相影响引入的不确定度
B类
均匀
√3
4
标准测量结果的重复性引入的不确定度
A类
/
/
5
参考标准与被校真空计温度变化（±1℃）
B类
均匀
√3
合成标准不确定度
??,?=√?12+?22+?32+?42+?52
A.2.5 扩展不确定度Ur
合成标准不确定度按公式（A.1)计算，取包含因子k=2，则扩展不确定度为：??=2??,?。
A.2 在（10-4～10-7）Pa范围内的不确定度评定
A.2.1 测量模型
采用动态流量法，在（10-4～10-7）Pa校准范围内对真空计校准的示值误差为例进行不确定度评定。其误差校准的测量模型可用下面公式计算，相对合成标准不确定度按公式（A.3）计算
??,?=√?12+?22+?32 （A.3）
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相对扩展不确定度按式（A.4）计算：
??=???,? （A.4）
A.2.2 不确定度来源
a)
参考标准引入；
b)
参考标准的稳定度；
c)
返流比；
d)
进气小孔流导；
e)
抽气小孔流导；
f)
参考标准与被校真空计温度变化（±1℃）；
g)
本底压力；
A.2.3 不确定度评定
引入的不确定分量包括：
a)
校准证书给出的引入的不确定度分量?1；
b)
依据电容薄膜真空计相关研究，参考标准的稳定度引入的不确定度为?2；
c)
根据装置试验报告结果，返流比引入不确定度为?3；
d)
进气小孔的流导测量引入不确定度?4；
e)
抽气小孔流导测量引入不确定度?5；
f)
在校准过程中温度变化为±1℃，按B类评定，引入不确定度?6。
g)
装置的极限真空度小于1×10-7 Pa，本底压力按B类不确定度评定为?7。
A.2.4 不确定度分量一览表
表4（10-4～10-7）Pa测量不确定度汇总表
序号
不确定度来源
评定方法
分布
K值
1
参考标准引入的不确定度
B类
正态
2
2
参考标准稳定度
B类
/
/
3
返流比
A、B
/
/
4
进气小孔流导
A、B
/
/
5
抽气小孔流导
A、B
/
/
6
本底压力
B类
均匀
√3
7
参考标准与被校真空计温度变化（±1℃）
B类
均匀
√3
合成标准不确定度
??,?=√?12+?22+?32+?42+?52+?62+?72
A.2.5 扩展不确定度Ur
合成标准不确定度按公式（A.3)计算，取包含因子k=2，则扩展不确定度为：??=2??,?。
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附 录 B (资料性附录) 校准证书模板
校 准 证 书
Certificate of Calibration
证书编号：
Certificate No.
客户Client
地址Address
被校设备CalibratedEUT
制造商Manufacturer
型号/规格Type
编号S/N
接收日期：
年 月 日
校准日期：
年 月 日
Acceptance Date：
Year Month Day
Calibration Date:
Year Month Day
校准人：
Operator:
审核人：
Checked by:
批准人：
Approved by:
发布日期：
年 月 日
Issued Date：
Year Month Day
校准专用章
(Stamp)
T/EBA.40004－2024
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校准使用的主要测量标准
Measurement standards Used
标准名称
STD Names
编号
S/N
证书编号/溯源机构
Cert.No./Trace to
有效期至
Due Date
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校准所依据的技术文件（编号、名称）或校准方法说明
Reference Document（code、name）or Description of the Used Calibration Method
校准地点：
Calibration location：
校准时的环境条件： 温度： ℃ 相对湿度：
Environment Condition： Temperature： Relative Humidity：
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校准结果
Calibration Results
参考标准值
Pa
示值
Pa
示值误差
Pa
扩展不确定度