T/SDAMA 010-2025 碳化硅陶瓷晶舟制品用高纯碳化硅粉体

以下是团体标准 ​​T/SDAMA 010-2025《碳化硅陶瓷晶舟制品用高纯碳化硅粉体》​​ 的详细内容总结：

​​一、标准概况​​

• ​​标准编号​​：T/SDAMA 010-2025
• ​​名称​​：碳化硅陶瓷晶舟制品用高纯碳化硅粉体
• ​​适用范围​​：专用于制造碳化硅陶瓷晶舟（半导体晶圆承载容器）的高纯碳化硅粉体。
• ​​归口单位​​：山东省新材料产业协会。
• ​​起草单位​​：山东圣诺实业、山东华美新材料、山东大学等（详见附录A）。

​​二、核心要求​​

​​1. 产品代号与标记​​

• ​​代号结构​​：H-F + ​​粒度范围数字​​
  • ​​H​​：高纯碳化硅粉体
  • ​​F​​：一般工业用途碳化硅
  • ​​示例​​：H-F240（粒度240级）

​​2. 技术要求​​

​​(1) 化学成分​​（表1）

• ​​主成分​​：

  元素	要求
  SiC	≥99.99%
  Si	≥70.02%
  C	≥29.96%

• ​​杂质限量​​（单位：mg/kg）：
  • ​​Fe, Al​​ ≤30 | ​​Na, Mg, Ca, B​​ ≤10 | ​​Ti​​ ≤5

​​(2) 粒度分布​​（表2）

​​(3) 物理性能​​

• ​​堆积密度​​（表3）：
  • H-F240 ≥1.50 g/cm³ | H-F1200 ≥0.75 g/cm³
• ​​颗粒密度​​（表4）：
  • ​​所有牌号​​ ≥3.12 g/cm³

​​三、试验方法​​

• ​​化学成分​​：按 ​​GB/T 37254​​（高纯碳化硅微量元素测定）。
• ​​粒度分布​​：按 ​​GB/T 19077​​（激光衍射法）。
• ​​堆积密度​​：按 ​​GB/T 20316.2​​（普通磨料堆积密度测定）。
• ​​颗粒密度​​：按 ​​JB/T 11433​​（普通磨料密度测定）。

​​四、检验规则​​

1. ​​检验分类​​：
   • ​​型式检验​​：涵盖第5章全部项目（化学成分、粒度、堆积密度、颗粒密度），每季度一次。
   • ​​出厂检验​​：仅检化学成分、粒度分布、堆积密度。
2. ​​组批要求​​：
   • 每批 ≤5 吨；
   • ​​化学成分​​每批检1次；​​粒度​​每吨检1次；​​堆积密度​​每批检1次。
3. ​​抽样方法​​：按 ​​GB/T 4676​​（普通磨料取样）。
4. ​​判定规则​​：
   • 初检不合格 → 加倍抽样复检 → 复检仍不合格则判整批不合格。
   • 数值修约按 ​​GB/T 8170​​。

​​五、包装与储运​​

• ​​标志​​：
  • 注明产品名称、牌号、数量、生产商；外包装贴 ​​GB/T 191​​ 要求的“防潮”图示。
• ​​包装​​：
  • 按 ​​JB/T 6569​​（普通磨料包装），内附​​合格证​​（含牌号、批号、检验员等）。
• ​​储运要求​​：
  • 严​​禁雨淋、水浸、利器钩划​​；
  • 贮存环境需​​防潮、远离酸碱腐蚀物​​，避免二次污染。
• ​​特殊要求​​：可由供需双方协商。

​​六、规范性引用文件​​

包括 ​​GB/T 1.1-2020​​、​​GB/T 19077​​（粒度分析）、​​GB/T 37254​​（微量元素测定）等15项国家标准/行业标准（详见原文第2章）。

​​七、附录A（资料性）​​

• ​​起草单位​​：山东圣诺实业、山东华美新材料、山东大学等。
• ​​主要起草人​​：高惠、周强、郝文虎等15人。

​​核心总结​​

该标准规定了​​高纯碳化硅粉体​​的 ​​化学成分（纯度≥99.99%）​​、​​粒度分布​​（分240/1200两级）、​​密度性能​​及配套的 ​​检测方法​​、​​质量控制流程​​ 和 ​​包装储运规范​​，专用于半导体晶圆承载容器（碳化硅陶瓷晶舟）的原料生产。
​​关键词​​：高纯碳化硅、晶舟、半导体材料、化学成分、激光粒度分析、防潮包装。