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T/CSP 12-2024 颗粒技术 硅泥中硅颗粒回收工艺规范 熔炼法
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资料介绍
本文件界定了熔炼法回收多晶硅锭或单晶硅锭切片过程产生的硅泥中硅颗粒的术语、定义;描述了回收原理;确立了回收流程;规定了回收产品质量、资源节约和环境保护的要求。
本文件适用于晶体硅切片过程产生的氧含量小于10 wt%(除切割液外）硅泥的回收。
本文件适用于晶体硅切片过程产生的氧含量小于10 wt%(除切割液外）硅泥的回收。
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