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HG∕T 5962-2021 硅片切割废液处理处置方法
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资料介绍
本文件规定了硅片切割废液（浆）的组成、处理处置方法、环保排放要求。
本文件适用于硅片切割生产线产生的切割废液（浆）的处理处置。
本文件适用于硅片切割生产线产生的切割废液（浆）的处理处置。